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티씨케이는 1996년 일본의 기능성 카본 소재 업체인 도카이카본과 반도체 장비업체인 케이씨텍, 카본 가공업체인 승림 카본 금속 3사가 합작하여 한국 토카이카본을 설립하였다.
같은 해 10월 외국인투자기업으로 등록하고 2001년 지금의 상호로 변경하였다..
반도체와 태양광 제조용 설비에 사용되는 고순도 흑연 제품을 주로 생산한다.
인공 흑연을 고온으로 가공해 반도체와 태양광 제조용 설비에 사용되는 흑연 제품 소재를 생산한다. 원재료인 고순도 흑연을 일본 도카이카본으로부터 전량 수입한 뒤 안성공장에서 제품을 만든다. 고순도 흑연의 시장 점유율은 약 60~65%이다.
또한 SiC coating사업으로 반도체 ALD 장비에 들어가는 Susceptor류와 LED Chip 생산용 Wafer Carrier를 제조, 판매 하고 있다.
전체 매출의 80 를 차지하는 CVD SIC Ring 사업은 반도체 식각 공정에 사용되는 핵심 부품으로 내열 내화학성이 좋아 반복적 공정이 필수적으로 사용되는 고단화 NAND 반도체 생산에 사용되고 있다.
SIC링 시장은 식각공정 부품으로 하부 포커 링에 주로 쓰이는 부품이다. D램 , 로직의 미세화와 낸드의 고단화 등 기술의 변화에 따른 성장이 큰 부품이다.
CVD 공법으로 생산한 부품, 특히 Dry Etcher, Diffusion chamber용 parts의 수명 연장 및 수율 개선을 위해 사용한다
2021년 반도체 초호황을 앞두고 관심있게 지켜보자.
주요 주주현황 TOKAI CARBON Co., Ltd 44.4% 케이씨 14.18%
